初夏已至，在湖北超芯智能裝備有限責任公司（以下簡稱“超芯”）的裝配車間內，技術工人正在對全自動刻蝕機進行組裝、點檢、調試，生產熱度正持續(xù)升溫。

半導體作為數(shù)字技術發(fā)展的基礎，每年為全球貢獻超過5000億美元的產值。而在整個半導體產業(yè)鏈中，裝備制造是最具挑戰(zhàn)的環(huán)節(jié)之一。

如何攻克半導體裝備制造相關技術攻堅與產業(yè)瓶頸難題？“超芯”的回答是：創(chuàng)新！

全自動刻蝕機。

這家位于孝感高新區(qū)的高新技術企業(yè)，以設計研發(fā)和制造顯示半導體清洗設備為主，核心產品線涵蓋全自動刻蝕機、超高壓濺射噴霧系統(tǒng)、納米氣泡發(fā)生系統(tǒng)等清洗設備。

“超芯”總經理劉春新介紹，在2020年，公司就已布局半導體行業(yè)。2023年，為適應市場需求，在孝感設立生產制造基地，專注于半導體顯示行業(yè)自動化制造設備研發(fā)、設計、組裝、測試以及行業(yè)內設備開級改造，為客戶提供全方位WET制程設備方案和制作。

憑借自主創(chuàng)新的精密控制技術，“超芯”持續(xù)做深做精半導體清洗設備，部分產品打破了國外廠商在高端半導體清洗設備領域的長期壟斷，突破了多項“卡脖子”技術難題，解決了行業(yè)“痛點”，有效提升半導體制造的整體水平和競爭力。

“半導體和面板最大的敵人就是微顆粒。以全自動刻蝕機為例，該產品具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，應用于半導體硅片支撐，適配12英寸晶圓制造需求?！眲⒋盒抡f，可實現(xiàn)微觀層面100納米級顆粒的精準清洗，清洗效果處于國內領先地位。相較于國外同類設備，能有效節(jié)約40%-50%的生產成本，服務成本僅為國外的三分之一，是孝感乃至湖北省首個同類自主研發(fā)制造的設備。

據(jù)了解，該企業(yè)去年出貨量達70-80臺，實現(xiàn)產值1000萬元；今年，隨著市場需求擴大和產能提升，預計產值將突破3000萬元。目前，該企業(yè)相關設備已廣泛應用于京東方、華星光電等頭部企業(yè)的先進生產線，成為國內顯示半導體產業(yè)鏈國產化進程中的重要參與者。

策劃：左硯文、喇曉光

記者：楊卓玉

通訊員：宋晴

出品：孝感高新區(qū)辦公室、荊楚網(wǎng)（湖北日報網(wǎng)）